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          談一談MEMS的加速度技術

           2022-01-12

            MEMS加工的加速度傳感器是一種能夠測量加速力的電子設備。加速度計目前有兩種:一種是角加速度傳感器,也叫陀螺儀;另一種是線加速度計。   加速度傳感器的原理隨著其應用不同而出現不同...

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          RF MEMS移相器的發展現狀

           2018-05-19

            由于相控陣雷達、衛星通信等領域應用的需要,RF MEMS移相器在國際上有眾多的研究者,工作頻段從幾GHz到上百GHz,采用的結構有DMTL型、開關線型和反射型。 ...

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          RF MEMS的特點

           2018-05-19

            RF MEMS是MEMS(微機電系統)與RF(射頻)技術相結合的一門新技術, MEMS器件具有體積小、易集成、功耗低、可靠性高等優點,可代替傳統無線通信系統中的半導體器件。RF MEMS不僅可以以器件的...

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          淺談MEMS器件

           2018-05-19

            MEMS器件很快在射頻性能上超過固態電子器件,即使早期的MEMS器件在20GHz時的開態插入損耗也只有0.15dB,在相同頻率下的一個典型GaAs-FET或PIN二極管的插入損耗接近1dB。   在低于1GHz頻率...

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          MEMS開關的概念

           2018-05-19

            我們今天所知道的MEMS開關的概念是在20世紀80年代末期90年代初期被提出的。第一份公開發表的論文只是提出了MEMS器件的概念,同時指出了器件設計面臨的一些挑戰以及它的潛在應用(Koester et...

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