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          MEMS開關的概念

          時間:2018-05-19 16:43:28

            我們今天所知道的MEMS開關的概念是在20世紀80年代末期90年代初期被提出的。第一份公開發表的論文只是提出了MEMS器件的概念,同時指出了器件設計面臨的一些挑戰以及它的潛在應用(Koester et al. 1996)。尤其是MEMS開關對射頻工程師具有巨大的吸引力,它們的潛力包括減少芯片的總面積、功耗和器件成本。一個RF MEMS開關的照片如圖1中所示。MEMS器件最初被唯一的制作在硅襯底上是因為集成電路也是被制造在硅上。硅材料的屬性和硅上的制造工藝已經為我們所熟知。

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